记者今天获悉，市场监管总局日前新批准二维铬纳米栅格标准物质、二维硅纳米栅格标准物质、一维硅纳米光栅标准物质3项国家一级标准物质，可以同时满足纳米制造产业角度和长度校准需要，为新一代信息技术、新材料、生物制造、高档装备等范围的纳米制造提供精确“标尺”。
研制高精度的纳米级标准物质，是塑造高准确度纳米测量传递链，提高国产纳米制造商品水平靠谱性的重点。 二维铬纳米栅格标准物质突破性地使用分步沉积原子光刻技术，制备困难程度较大，可直接溯源到自然界量子化物理常数，角度绝对准确性在0.001°量级，等于把一个蛋糕按扇形均分成三十六万份。
二维铬纳米栅格的结构面积一般为300μm×300μm，在没划伤或破坏的情况下，每次用2μm×2μm，不重复用测量地区次数可达20000次以上。
可应用于晶圆级原子力显微镜、扫描电子显微镜等集成电路微纳测试设施校准；
也可应用于对超精密位移传感器多种参数的光栅干预法校准。
纳米级角度标准物质的研制成功，达成了纳米测量范围的扁平化计量，防止传统逐级量值传递方法导致的误差放大，可以通过在线校准直接将高精度计量数据直接传递到企业计量现场，为国内纳米制造产业优质进步提供有力支撑。(总台央视记者 李晶晶)
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